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HYDAC传感器的分类
发布时间:2019/4/16   点击次数:456次

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                    HYDAC传感器的分类
1.电容式加速度传感器
电容式加速度传感器可以将振动位移参量的变化转变成为电容量的变化,其基本敏感机理比较简单。如图所示,上下极板为固定电容极板具有公共电极,中间质量块为可动电容极板。当有外界振动时可动极板跟随振动,从而改变电容。上下电容同时改变,但是变化方向相反,称为差动式。其特点是动态范围较大,zui大位移和zui小位移之比可大,如果采用差动测量方法数值增大一倍,灵敏度高、响应时间短、稳定性好。因为结构简单,影响稳定性的因素少、无内部和外部的各种摩擦和接触应力误差,对温度变化的固有敏感性低。
2.压电加速度传感器
压电传感器的工作原理是基于某些晶体材料的压电效应,它是一种无源式传感器,直接将机械能转变成电能。压电效应分为正向压电效应和逆向压电效应。正向压电效应是指当晶体受到某固定方向外力作用时,相应的在一定晶体表面产生电荷,当外力作用消失时,晶体表面的电荷也会随着消失。当外力作用方向改变时,电荷的极性也随之改变。晶体受力产生的电荷量与外力大小成正比。
逆向压电效应是指当某晶体沿一定方向受到电场作用时,相应的在一定晶轴方向产生机械形变或机械应力,当外加电场撤去后机械形变或机械应力也消失。如图所示的是利用压电效应的压电式加速度传感器结构简图:
3.压阻式加速度传感器
压阻式加速度传感器主要由3个部分组成:1.带质量块的悬臂梁弹性元件,可将所要测试的加速度转换成机械变形量(如应力、应变);2.力敏原件,常用的是硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺封装在弹性元件的zui大应力集中处,当有加速度作用时,弹性元件的zui大机械变形量就通过平膜芯片的压阻效应转化为惠斯登电桥的电阻变化量,并在一定的电源激励下,实现对加速度的测量;3.具有过载保护功能的机械结构设计。
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